第386章 45纳米光刻机

    攻关小组在第三个月撞上了南墙。
    何雨柱站在无尘车间外面，隔着玻璃往里看。那台银白色的机器外壳上贴着「45nm实验样机」的标签，红字蹭掉了一个角。他没进去，就站在那儿，能感觉到里头的气压很低。几个技术员蹲在机器前头，没人说话，只有机器散热风扇嗡嗡转。
    周厂长攥着测试报告出来，报告纸被他手心的汗洇湿了一角。他没递过来，先叹了口气，声音压在嗓子眼里。
    「何处长，前六次都废了。」
    何雨柱接过报告，翻到第六次测试那一页。曝光均匀性，偏差百分之十五。线宽，四十五纳米正负五纳米。合格率，不到百分之三十。他把报告合上，没说话。
    「镜头热变形，曝光精度不够。线宽控制不住，有的宽，有的窄，短路丶断路，一大堆毛病。」周厂长说着，用手比划了一下，「跑起来就热，一热就歪。」
    何雨柱把报告还给他。「钱所长的材料呢？」
    周厂长翻到另一页，手指点了点上面的数据，嘴唇动了动，没立刻接话。「新材料透光率好了两成，可它……」他停顿了一下，像是在斟酌词句，「一开大功率就膨胀。功率小了，曝光时间又太长，一片矽片得晒半天，效率还不如老机器。」
    何雨柱没接话。他推开车间门，走进去。机器还在嗡嗡响，指示灯一闪一闪的。他蹲下来，伸手摸了摸镜头座旁边的外壳，烫的，手心贴上去能感觉到热量往外渗。
    中科院微电子所的王研究员蹲在操作台前头，手里拿着个本子，一边看一边记。他看见何雨柱，站起来，摘下老花镜。
    「何处长，问题不在材料。镜头热变形是结构的事。散热不均匀，一边热一边凉，镜头就歪了。」
    何雨柱站起来。「能改吗？」
    王研究员没直接回答。他把老花镜戴上，又摘下，用衣角擦了擦镜片。「改散热结构，加冷却水道，让冷却液均匀流过镜头四周。温度稳了，变形就小了。」
    何雨柱转过身，看着周厂长。「改。需要多久？」
    周厂长想了想，又看了看王研究员。「两周。重新设计冷却水道，加工零件，安装调试。」
    何雨柱点点头。「改。改完了再试。」
    第七次试机安排在两周后的一个下午。
    何雨柱又去了上海。车间里站满了人，上海无线电厂的技术员丶中科院微电子所的研究员丶钱致远材料所派来的年轻人，把无尘车间挤得满满当当。空调开得很足，但何雨柱还是觉得闷。他站在人群后头，能看见那台机器上贴着的「45nm实验样机」标签，红字已经彻底模糊了。
    周厂长站在操作台前头，手放在启动按钮上，没按。他回头看了何雨柱一眼，又转回去，盯着屏幕上那几行还在跳动的温度数据。等了十几秒，温度稳住了。
    「各处温度正常，正负零点五度。」操作员报数。
    周厂长深吸一口气，按下按钮。
    机器启动了。光源亮起来，刺得人睁不开眼。镜头旋转，工件台移动，矽片在曝光灯下慢慢移动。车间里很安静，只有机器嗡嗡响。何雨柱盯着仪表盘上的数字，压力丶温度丶真空度，都在正常范围。但他注意到周厂长的手一直没离开那个红色的紧急停止按钮，手指搁在上头，没按下去。
    三十分钟。四十分钟。五十分钟。
    机器停了。
    技术员把矽片取出来，送到显微镜下。王研究员凑过去，看了很久，一动不动。车间里没人说话，有人咽了口唾沫，声音很响。
     周厂长忍不住了。「老王？」
    王研究员没回头，又看了十几秒，才直起腰。他把老花镜摘下来，没说话，先呼出一口气。
    「线宽，四十五纳米，正负零点五。均匀性，偏差百分之三。」
    他顿了顿，把老花镜重新戴上，又看了一眼显微镜，才补了一句。
    「合格率，百分之九十五。」
    车间里安静了一秒。不是那种死寂，是那种憋了很久的丶不敢相信的安静。然后角落里有人笑了一声，很低，像松了口气。接着有人拍了一下大腿，有人蹲下去，有人把本子合上，呼出一口气。
    周厂长站在操作台前头，手指还按在那个紧急停止按钮上，没松开，指节发白。他愣了两秒，把手收回来，在裤子上蹭了蹭手心的汗。
    「成了。」他说。
    声音不大，但车间里每个人都听见了。
    何雨柱站在人群后头，没动。他看着那些技术员蹲在地上抱着头，看着王研究员摘下老花镜又戴上，看着周厂长站在操作台前头一动不动。他没说话，转身走出车间。
    外头的天快黑了，路灯刚亮，昏黄的光照着厂区的水泥路。他站在门口，从口袋里摸出烟，点上，吸了一口。烟雾在风里散得很快。
    晚上，何雨柱住在厂招待所。他坐在床上，把那份名单从系统空间里拿出来，翻到「光刻机」那一页，在「45纳米」三个字后头，他加了一行字：上海无线电厂丶中科院微电子所丶钱致远材料所联合攻关，第七次试机成功，线宽45纳米正负0.5纳米，合格率95%。
    写完了，把名单放回去，锁好。
    第二天一早，何雨柱去了钱致远的研究所。钱致远在实验室里，蹲在一台显微镜前头，看一块材料的切片。他听见门响，抬起头，摘下老花镜。
    「小何，成了？」
    何雨柱在他对面坐下。「成了。您的材料立功了。」
    钱致远没笑。他站起来，走到柜子前头，拿出一块银白色的金属，递给何雨柱。何雨柱接过来，沉甸甸的，表面光滑，在灯光下泛着冷光。
    「这是新配方。热膨胀系数比上一版还低三成，透光率提高一成。用在下一代光刻机上，能做更细的线宽。」
    何雨柱掂了掂那块金属。「三十二纳米？」
    钱致远点点头。「理论上是。得试验。得有人，有设备，有时间。」
    何雨柱把金属还给他。「人从各所调。设备从国外买。时间，五年。五年后，我要看到三十二纳米光刻机。」
    钱致远把金属放回柜子里，关上柜门。「行。我搞。」
    何雨柱站起来，伸出手。钱致远握住，摇了摇。
    「钱所长，您保重。」
    「你也是。」
    回到北京，天已经黑了。何雨柱刚进办公室，桌上的电话就响了。他接起来，那头先是一阵嘈杂——有人在喊「加压」，有人在读数据，然后林建国的声音传来，不是喊，是那种压着嗓子丶带着喘的丶像跑了长跑之后的声音。
    「院长，晶片到了。」
    何雨柱没说话。
    电话那头顿了一下，传来什么东西放在桌上的声音，很轻，但很稳。
    「线宽正负零点三，比设计指标还好。院长，星河六号……它能跑了。」
    何雨柱握着话筒，听见那头有人哭了。

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